请教关于柴油机高压共轨传感器的问题

mikhail

找了很多资料。介绍这个轨压传感器的结构的时候，上面的压力传感器提到的都是用的“带传感器的膜片”，很想详细了解一下。
    我的理解上，这个说法的意思是在压力进口管路管口放置一个能够抗高达200MPa且有变形量的金属片？然后金属片上复合上硅基应变片？如果是这样的话，这个硅基应变片上是蚀刻上了惠斯登电桥来感应压力变化输出电阻值么？同时前面那个金属片是用的什么材质和如何固定在管口的，以及应变片又是如何和金属膜片复合呢？看到一些轨压传感器介绍说是采用的无焊接结构，那金属片不会是粘接在管口的吧？同时螺纹端和另一端的塑料注塑件是靠旋压来连接的么？
    问题很多，我把我的想法认识写了出来，还望各位指正指导一下，谢谢。

naclchen

膜片式压力传感器是压力测量中最为广泛的一种
膜片一侧感受压力并弯曲以得到和压力有关的变形信号
再将变形信号转变为电压信号

膜片的厚度、直径大小和要测量的压力大小有关
低压时用厚度小、直径大的膜片，弯曲变形为0.1~1mm
高压时用厚度大、直径小的膜片，弯曲变形仅仅为几个微米

原理上，薄膜弯曲取决于薄膜上下的压力差
所以可以将压力传感器分为四种基本形式：
·绝对压力传感器
·参考压力传感器
·大气压力传感器
·压差传感器

如附件所示为绝对压力传感器的原理图，和你描述的带有膜片的结构很贴近
惠斯登电桥（使用压敏电阻）直接使用微机械工艺压在了膜片上
这个膜片在高压力下的形变也仅仅为几个微米
原因是惠斯登电桥中电阻的K因数是非常高的
典型的K值为100

BTW：K因数是压敏电阻的相对伸长电阻和相对伸长之比
K=(△R·L)/(△L·R)

至于你提到的关于制造工艺的问题
我手上也没有什么具有说服力的资料
这也是传感器的关键的技术
很多原理性的东西大家都知道
但都做不出来
问题就在工艺上

mikhail

恩，非常感谢楼上的详细解答。
单纯的在膜片上加工的制造工艺（搜了下貌似统称MEMS工艺）这个的制造工艺应该是关键难点技术。我想这个膜片在传感器外壳及载体上的连接安装方法应该还是比较简单的，可能不在这个行业不太了解。会不会可能直接可靠地胶接就可以？
希望继续得到大家的解答和意见，谢谢。

dw1010

我看到博士高压共轨传感器在高压共轨一端无焊接而成的。

我朝德意志

dw1010 发表于 25-1-2013 21:18
我看到博士高压共轨传感器在高压共轨一端无焊接而成的。

博世的有两种轨，一种是激光焊接轨，还有一种是锻造轨。不过传感器都是以螺纹的形式连接到油轨上去的