如何区分气体管道系统中气体与管道关系

zuo2472102

气体管道系统气中气体与管道的关系：
近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要求，使高纯气体的配管技术日益受到关注和重视。以下针对高纯气体输送从选材到施工以及验收、日常管理作个简单的概述。
常见气体的种类
电子行业中常见气体的分类：
普通气体，也称大宗气体 (Bulk gas )：氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等
特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6„„等等
特殊气体的种类一般可分为腐蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等，一般常用的半导体气体分类如下：
(一)、腐蚀性 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 „等
(二)、可燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO„等
(三)、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3„等
(四)、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He„等
半导体气体很多是对人体有害。特别是其中有些气体如SiH4的自燃性，只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应，开始燃烧;还有AsH3的剧毒性，任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害，也就是因为这些显而易见的危险，所以对于系统设计安全性的要求就特别高。
高纯气配管技术是高纯气体管道系统的重要组成部分，是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术;所谓高纯气配管技术包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。

andyo7

关于如何区分气体管道系统中气体与管道的关系，关键在于理解不同气体的特性和管道系统的功能。对于高纯气体输送，选材至关重要，需确保管道材料不与气体发生反应或污染。此外，施工和验收过程中需严格控制清洁度和密封性。日常管理包括定期检查、清洗和更换，以确保气体纯度。常见气体如氢气、氮气、氧气等，在管道系统中的表现各不相同，需根据气体的化学性质、流量和压力等选择合适的管道系统和配置。综上所述，正确区分气体与管道关系需结合气体特性和管道系统功能，确保系统安全、高效运行。